Reinheid meten met unieke particle-scanner

Met name de jarenlange kennis van beide partijen t.o.v particles herkennen in combinatie met
de optische kennis van TNO heeft geleid tot deze module. ‘De scanner wordt ingezet om producten,
met name nu voor ASML, te kwalificeren op reinheid. ASML heeft de EUV-machine nu zo ver ontwikkeld dat deze klaar is voor de industriële versie. Nu ligt de aandacht bij de reinheid van de aangeleverde producten’, weet Lansbergen. Hij denkt dat zijn Particle-scanner daarin een rol kan krijgen.

Lansbergen legt uit hoe de scanner werkt: ‘We hebben een product waar volgens specificatie
bekend is hoeveel particles deze maximaal mag bevatten. Het meetproces begint met een nulmeting.
Dat gebeurt met een zogeheten pmc, dat s een kaartje dat nagenoeg schoon is. Daarna rukken we dit kaartje op het product en doen aarmee een tweede meting in de Particle-scanner. eze bepaalt dan hoeveel particles er zijn verkomen van het betreffende product. Daarmee kunnen we direct in beeld brengen hoeveel particles er zijn bijgekomen en dus hoe rein het roduct is en of dit binnen de toegestane marges valt.’

Lansbergen verwacht dat deze scanner de standaard laat worden. ‘Dat heeft twee redenen. De toeleverancier kan daarmee de vervaardigde producten kwalificeren op reinheid en de toeleverancier
kan zijn eigen werkmethodiek controleren. Mensen op de werkvloer hebben vaak geen idee hoeveel particles ze genereren en wat de effecten daarvan zijn.’
‘Het mooie van deze unit is, dat hij bepaalt hoeveel particles er bij zijn gekomen, waar ze zitten en hoe groot ze zijn en daar doet hij dertig seconden over. Daar doen we nu met een microscoop 3,5 uur over. Uiteindelijk denk ik dat ASML zo’n scanner – of een vergelijkbare – gaat verplichten. Ik heb er al één geleverd aan ASML en een tweede komt eraan.’

Lans Engineering