Delft
28 Jan. 2015
1 minuut
Chips komen in ieder elektronisch apparaat voor: van smartphone en laptop tot wasmachine. ‘We werken voor de bedrijven die de machines produceren waarmee chips gemaakt worden. Voor hen ontwikkelen we sensoren, reinigingsmodules en strategieën om machines zo nauwkeurig mogelijk te laten werken’, aldus Roland van Vliet, director Semiconductor Equipment bij TNO.
Nederland is wereldwijd een grote speler in de semiconductor-industrie, oftewel de halfgeleiderindustrie. In Nederland zitten niet veel bedrijven die chips produceren, maar wél veel bedrijven die machines leveren aan de chipproducerende industrie. Deze fabrikanten, inclusief hun toeleverketen, zijn partners van TNO. ‘Voor hen ontwikkelen we de concepten en technologie, vooral bij opto-mechatronische en materiaalkundige uitdagingen, om deze machines optimaal te laten functioneren,’ aldus Van Vliet.
Vervuiling tegengaan
Een chip is een zeer klein, gevoelig plaatje. Als zo’n chip tijdens productie in aanraking komt met vuil of stof, al is het maar een nanodeeltje, wordt hij onbruikbaar. Het is dus heel belangrijk voor het rendement dat de machines die chips produceren zo schoon mogelijk zijn. ‘Wij onderzoeken hoe vervuiling ontstaat en ontwikkelen technologieën die de machine schoonhouden. Met onze apparatuur kunnen we het productieproces in de gaten houden en optimaliseren. We gebruiken daarvoor geavanceerde meettechnologie, oftewel metrologie. We hebben het International Centre for Contamination Control opgericht om gezamenlijk met de industrie en wetenschappelijke instituten technologie te ontwikkelen om vervuiling te voorkomen, te detecteren en te verminderen.’
Duurzame industrie
Het duurzamer maken van chipproducerende machines is een belangrijke uitdaging voor de industrie. Om machines schoon te maken, worden nu nog veel chemicaliën en water gebruikt. Van Vliet: ‘We werken met de industrie aan andere technologieën om de machines schoon te krijgen, met minder vervuilende reinigingsmiddelen en grondstoffen. Zo werken we aan een economisch én ecologisch duurzame industrie.
Mede dankzij TNO speelt Nederland een vooraanstaande rol in de export van hoogtechnologische producten. ‘Nederland heeft een hele hoogwaardige maakindustrie, die alleen maar kan blijven bestaan door continu te vernieuwen. Daar dragen we met TNO graag ons steentje aan bij.’